เข้าสู่ระบบ
หน้าแรก
รายการเครื่องมือวิทยาศาสตร์
ข้อมูลเครื่องมือวิทยาศาสตร์
ชื่อเครื่องมือ :
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (Scanning Electron Microscope; SEM) TESCAN Model VEGA 3, Czech Republic
รายละเอียด :
- ทำงานที่ศักย์เร่ง 0.2-30 keV
กำลังขยาย 2-1,000,000 เท่า
มี Resolution 3.0 nm และ 3.5 nm ที่ 30 keV
สำหรับ Secondary electron detector และ Back scattered electron detector ตามลำดับ
- สามารถทำงานทั้งสภาวะ High vacuum และ Low vacuum มี Detector ตรวจวัดสัญญาณ ชนิด Secondary electron (SE), Back scatered electron (BSE), Low vacuum secondary electron (LVSTD), Cathodoluminescence (CL) ที่รับความยาวคลื่นแสง 185-850 nm
- มีหัวตรวจวัดการกระจายพลังงานของรังสีเอ็กซ์ (Energy dispersive X-ray spectroscopy; EDS) ยี่ห้อ Oxford Instruments, UK รุ่น Ultim Max 40 ร่วมด้วยโปรแกรมวิเคราะห์ธาตุ AZtec Software
- มีระบบ Plasma cleaner ใน Sample chamber ระบบ stage ชนิด Compucentric เคลื่อนที่ได้ 5 แกน และมี Cooling and Heating stage (-50 ถึง 70 องศาเซลเซียส)
- สามารถวิเคราะห์ด้วยการทำภาพสามมิติ (3D Reconstruction) ด้วย 3D MeX ที่สามารถให้ข้อมูล Area, Rougness, Depth profile เป็นต้น
สถานะ :
พร้อมใช้งาน
ติดต่อขอใช้เครื่องมือได้ที่
สอบถามเพิ่มเติมสามารถ Inbox เพจ
Industrial Chemistry Innovation, MJU
หรือติดต่อที่ ผศ.ดร.สุรศักดิ์ กุยมาลี surasak_k@mju.ac.th
หรือ ผศ.ดร.ณัฐพล เลาห์รอดพันธุ์ nattapol@mju.ac.th
ราคา
ค่าธรรมเนียม (บาท)
ที่
รายการ
ประเภท ก
ประเภท ข
ประเภท ค
ประเภท ง
1
การวิเคราะห์ที่สภาวะสุญญากาศสูง
(High vacuum SEM - HV SEM) (ต่อ 1 ชั่วโมง)
900
600
450
300
2
การวิเคราะห์ที่สภาวะสุญญากาศต่ำ
(Low vacuum SEM - LV SEM) (ต่อ 1 ชั่วโมง)
1200
800
600
400
3
การวิเคราะห์ด้วยเครื่องตรวจวัดการเรืองแสง
(SEM with carhodoluminescence detector - CL) (ต่อ 1 ชั่วโมง)
1200
800
600
400
4
การวิเคราะห์ด้วยเทคนิคการกระเจิงของอิเล็กตรอน
(SEM with Electron Channeling)
(ต่อ 1 ชั่วโมง)
1800
1200
900
600
5
การวิเคราะห์ด้วยระบบทำความเย็น
(SEM with Pailtia stage) (ต่อ 1 ชั่วโมง)
1800
1200
900
600
6
การวิเคราะห์ธาตุด้วยเทคนิคการกระจายพลังงานของรังสีเอ็กซ์
(SEM with EDS) (ต่อ 1 ชั่วโมง)
1500
1000
750
500
7
การวิเคราะห์ด้วยเทคนิคการสร้างภาพสามมิติ
(SEM with 3D reconstruction) (ต่อ 1 ชั่วโมง)
1800
1200
900
600
8
ไฟล์ภาพ SEM ชนิดภาพนิ่ง
(ต่อ 1 ไฟล์ภาพ)
120
80
60
40
9
ไฟล์ภาพ SEM ชนิดภาพเคลื่อนไหว
(ต่อ 1 ไฟล์ภาพ)
1200
800
600
400
10
ไฟล์ EDS (ต่อ 1 ไฟล์ภาพ)
120
80
60
40
11
ไฟล์ภาพสามมิติ (3D reconstruction)
ชนิดภาพนิ่ง (ต่อ 1 ไฟล์ภาพ)
900
600
450
300
12
ไฟล์ภาพสามมิติ (3D reconstruction)
ชนิดภาพเคลื่อนไหว (ต่อ 1 ไฟล์ภาพ)
1800
1200
900
600
13
การแปลผลภาพ SEM ชนิดภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (SEI) และ อิเล็กตรอนกระจายกลับ (BSE)
(ต่อ 1 ไฟล์ภาพ)
1800
1200
900
600
14
การแปลผลการวิเคราะห์ธาตุด้วยเทคนิคกระจายพลังงานของรังสีเอ็กซ์ (EDS)
(ต่อ 1 ไฟล์ภาพ)
1800
1200
900
600
15
การแปลผลของรูปแบบการกระเจิงอิเล็กตรอน (Electron Channeling Patterns - ECP)
(ต่อ 1 ไฟล์ภาพ)
2400
1600
1200
800
16
ค่าธรรมเนียมเริ่มต้น (ต่อครั้ง)
3000
2000
1500
1000
หมายเหตุ
1. การจองใช้บริการเครื่องมือกลุ่มกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด กำหนดขั้นต่ำครั้งละ 3 ชั่วโมง ในช่วงเวลา 09:00 - 12:00 น. และ/หรือ เวลา 13:00 - 16:00 น. และสามารถจองติดต่อกันได้ไม่เกินครั้งละ 2 วัน
2. กรณีที่ใช้งานเครื่องมือวิทยาศาสตร์ไม่ถึง 3 ชั่วโมง หรือเศษของชั่วโมง ให้คิดค่าธรรมเนียมในอัตราขั้นต่ำ 3 ชั่วโมง ถ้าอัตราต่ำกว่าค่าธรรมเนียมเริ่มต้น ให้คิดค่าธรรมเนียมเท่ากับอัตราค่าธรรมเนียมเริ่มต้นจำนวน 1 ครั้ง
3. ผู้ขอใช้บริการประเภท ก และประเภท ข ที่มีการสร้างความร่วมมือ (MOU) กับทางคณะวิทยาศาสตร์ ด้านการสร้างนวัตกรรมและการวิจัยที่ใช้องค์ความรู้ ด้านจุลทรรศศาสตร์อิเล็กตรอน ให้คิดค่าธรรมเนียมเทียบเท่ากับอัตราค่าธรรมเนียมผู้ขอใช้บริการประเภท ค
ตารางการใช้งาน